A SEMICORE Equipment, Inc. empresa americana baseada no Vale do Silício na Califórnia desenvolveu o sistema TRI-AXIS. Trata-se de sistema com câmara de vácuo em forma de cubo com abertura para os seis lados que permite montagens complexas para configurações diversas de sistema de deposição de filmes finos por Sputtering, Ion Beam e Evaporação Térmica. O conceito TRI-AXIS permite modularidade...